PCM测试培训资料.ppt
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1、PCM 测试培训测试培训概概 述述PCM PCM 测试的作用测试的作用测参数参数有什么作用参数有什么作用? ? 建立器件模型 制定出片标准 监控工艺质量 寻找低良原因PCM PCM 设备类型设备类型CMOS/BICMOS/E2CMOS/BICMOS/E2等低压器件测试设备等低压器件测试设备: :4070/4062/450/425;4070/4062/450/425;DMOSDMOS测试设备测试设备: :FET3600(FET3600(兼顾兼顾CPCP测试和中测打点的功能测试和中测打点的功能) )二极管测试设备二极管测试设备: :APD01APD01概概 述述三三 PCM PCM 测试系统结构测
2、试系统结构控制终端控制终端 测测 试试 仪仪TESTER探针台探针台PROBER概概 述述开关矩阵开关矩阵和针卡和针卡电容仪电容仪万用表万用表脉冲发射器脉冲发射器PCM程序描述4070:语言BASIC程序结构:子程序 主程序 PRINT文件 LIMIT文件 坐标文件TESTSUBS.6TESTSUBS.6TESTS.TESTS.6 6printprintTSTLSTTSTLST/TLbkup/TLbkup.std.std产品测试程产品测试程序序:CODE名名TESTS.6TESTS.6printprintTSTLSTTSTLST/TLbkup/TLbkup.std.std450程序描述:语言:
3、C子程序 主程序 标准测试模块 LIMIT FILE 坐标文件产品测试程产品测试程序序:CODE名名pgmpgmklfklfplansplans.wdu.wduPLANSPLANSNMOS/PMOSNMOS/PMOS klf klf.wdu.wduPGMPGM cpf/wpf cpf/wpf开发PCM程序需要与PCM确认什么信息?测试需要的硬件配(电容仪/脉冲发生仪等)针卡信息针卡上的针间距是否可以与开发产品WAFER上的PAD间距一致;针卡上的针的个数与排列是否与开发产品WAFER上的PAD个数与排列一致测试电压电流要求PCM测试机台是否可以满足4070/4062: 见后页450/425:
4、200ma/200vFET3600:5A/2000V4070450PCM测试程序开发开发PCM程序需要提供什么资料?测试模块坐标测试电学条件参数规范PCM程序开发需要填写的表单?E状态产品的更改路径:Fas920aFab1文件库特别共享PI电性测量课TD程序调试申请报表M/N/P/ER状态的更改使用路径,工作流路径: 什么时候需要写什么时候需要写申请申请: :单个产品更单个产品更改的时候改的时候, ,子程序子程序优化走优化走PCMPCM人员走人员走-PCCB-PCCB程序开发完后PCM人员做什么?E状态产品:M/N/P/ER状态产品:EIP系统里会有附件附上.PCM异常处理流程PCM测试问题分
5、析流程测试问题反馈测试问题思考方向:针卡/机台/操作习惯/程序经典案例分析450 IOFF-弥补设备硬件差异MGLV P+ 测试问题-解决工艺缺陷VTFOX测试问题-TESTKEY设计问题导致PCM问题FAIRCHART 扎偏移-找目标对测试的影响450 IOFF产品反映IOFF 450/4070测试值有台阶,导致工艺SPC不达标准450 IOFF为什么会有漏电类参数,450测试结果比4070漏电小的呢?450 IOFF检查程序寻找差异,450漏电更小的原因是使用了皮安表450 IOFF优化程序解决问题 LVMG产品一直以来都存在P+测试不出的问题,现在以在北京生产的ICET316/314尤为
6、突出 分析认为是PCM TEST设计结构不合理导致PCM测试有问题MGLV P+ 测试问题MGLV P+ 测试问题-PCM P+ 测试结构备注:红色:备注:红色:N+;兰色:;兰色:P+;绿色:;绿色:ALALSIO2N+NSUB探针探针结论:因为设计规则的问题,导致当探针过重扎穿结论:因为设计规则的问题,导致当探针过重扎穿AL/SIO2(1100A)直)直接与接与N+连通,即发生漏电,电阻测量不出。当探针轻扎时,连通,即发生漏电,电阻测量不出。当探针轻扎时,P+是可以测是可以测试出来的,与实验吻合,见附录一。试出来的,与实验吻合,见附录一。MGLV P+ 测试问题PCM N+ 测试结构备注:
7、红色:备注:红色:N+;兰色:;兰色:P+;绿色:;绿色:AL结论:因为设计规则的问题,导致当探针过重扎穿结论:因为设计规则的问题,导致当探针过重扎穿AL/SIO2(1100A)直)直接与接与N+连通,因为所接触的还是连通,因为所接触的还是N+,不会漏电,这就是,不会漏电,这就是N+从没有出现测从没有出现测量不出的原因量不出的原因ALSIO2N+PWELLNSUBMGLV P+ 测试问题 结论:因为模块设计问题,导致会有测试不出的问题发生,与PCM工艺无关经过单点扎针测试经过单点扎针测试,发现当高度为发现当高度为310时时,测试结果为片子真实值测试结果为片子真实值(同一点同一点).针高针高=3
8、10=310Default_XDefault_XRs_pplusRs_pplusratioratio1 1768.311768.3111.118641.118642 2771.354771.3541.127121.127123 3771.354771.3541.136751.136754 4772.876772.8761.117651.117655 5777.44777.441.126051.126056 6772.876772.8761.127121.127127 7785.047785.0471.123971.123978 8774.397774.3971.117651.117659 97
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