高速生长金刚石单晶的装置和方法.docx

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高速生长金刚石单晶的装置和方法本发明的鉴别高速生长的化学气相沉积金刚石单晶的方法属金刚石材料技术领域。通过以甲烷、氢气、氮气为反应气体获得的CVD金刚石单晶的生长表面及沿生长方向侧面不同位置的光致荧光光谱的测试，光谱强度规律变化的金刚石单晶是掺氮高速化学气相沉积金刚石单晶。进而根据和氮含量相关的光致荧光峰的强度的规律变化，区分CVD金刚石单晶和其他金刚石单晶。本发明的方法简单、适用、快速；不对所生长的CVD单晶金刚石造成破坏。天然金刚石单晶与CVD金刚石单晶价格差距极大，一个可靠而且简便的鉴别方法,能够有效节省鉴别成本并消除错误鉴别的风险。企业可因此获得相关的经济效益。

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关键词：: 高速生长金刚石装置方法

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