200keV电子束设备技术指标.docx

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1、200keV电子束设备资料第一条EB设备的技术指标LEB设备额定能量：20OkeV2 . EB设备电压调节范围：0200kV3 .电子束流：0 150mA可调;4 .电子束长度：O-IOOOmm （可定制），乙方帘布进入EB设备时的中心位置偏差不 能超过10mm；5 .能量不稳定度：2%;6 .束流不稳定度：2%;7 .扫描不均匀度：5%;8 . EB设备工作方式：24小时连续工作；9 .电子枪阴极使用寿命：2000小时；10 .钛膜使用寿命：2000小时;11 .负载工作下的真空度：优于5X10 Pa；12 .泄漏剂量（距离设备表面50mm处）：V2. 5USVh（符合国家标准）。13 .控

2、制接口信号：工业以太网/现场总线0-5V0T0V4-20A等标准信号。第二条EB设备具有的安全保护连锁1 .具有开机、关机指示灯；2 .具有紧急停机按钮、开机前警灯和警铃报警；3 .具有门开关限位连锁装置和机械明锁（钥匙控制）；4 .具有射线泄漏检测连锁装置；5 .具有运行参数检测连锁装置；6 .各种关键连锁装置都能切断设备高压，确保人员和设备安全；第三条EB设备技术资料技术资料清单如下：1. EB设备现场安装调试技术要求；2. EB设备使用说明书；3. EB设备维护保养说明书；4. 真空泵及真空测量仪器使用说明书；5. EB设备合格证；6. EB设备布置图；7. EB设备附属设备的技术资料；

3、8. 与EB设备相关的其它技术资料；9. 束下传动装置的接口技术资料。第四条EB设备系统组成1.主体部件（DEB设备主体（1）:加速钢筒（1套）高压电源及传输线（1套）电子枪及供电电源（1套）加速管及附件（1套）高压大帽（1套）聚焦透镜（1套）屏蔽室及保护气体充放气装置（1套）选择件（2）引出系统（1套）：扫描盒（1套）扫描线圈及供电电源（1套）水冷系统（1套）风冷系统（1套）（3）真空系统 （1套）：真空管道（1套）初真空机组（1套）高真空机组（1套）真空测量仪器（1套）控制系统（1套）（5）辐射剂量检测及安全连锁系统（1套）（6）屏蔽室内送排风系统（1套）2 .备品备件（1）手持式个人剂量仪（2台）（2）常用的辅助设备检测部件和控制部件、连锁开关、仪表、按钮等（1 套）3 .专用工具（1套）第五条EB设备的培训1 .乙方免费对甲方运行维修人员进行EB设备的操作维护培训。2 .双方约定的相关培训。第六条设备外观尺寸相关图纸资料见附件