真空观察窗.docx

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1、一种具有双层双圈密封圈的真空设备观察窗所属技术领域：本发明涉及一种具有双层密封圈的真空设备观察窗，这是一种真空设备观察窗。背景技术：传统真空设备观察窗在高真空环境下非常容易漏气，这就造成了设备真空度很难得到提高。一种具有双层双圈密封圈的真空设备观察窗是一种具有两层密封法兰的观察窗，同时每个密封法兰上面有两圈密封圈，这就让观察窗达到一个非常良好的密封效果，使真空设备内部可以保持高真空。实用新型内容：一种具有双层密封圈的真空设备观察窗，是一种具有两层密封法兰的观察窗，它具有非常良好的密封效果。如图1所示，圆环型法兰（2）安装在真空设备腔体（1）的观察窗法兰上面，如图2所示，真空设备腔体的观察窗法兰

2、（1）上面的分度圆有18个螺丝孔，有2圈密封圈，下面有2圈密封圈，侧面有1圈密封圈。如图3所示，圆环型法兰（2）上面的分度圆有18个螺丝孔，有2圈密封圈，下面有2圈密封圈，侧面有1圈密封圈。如图4所示，右上圆环型法兰（3）上面的分度圆有18个螺丝孔，有2圈密封圈，下面有2圈密封圈，侧面有2圈密封圈。在它和左上圆环型法兰（4）相交的侧面线上有一条密封圈，在它和左圆环型法兰（4）相交的螺丝孔上有一圈密封圈。如图5所示，左上圆环型法兰（4）上面的分度圆有18个螺丝孔，有2圈密封圈，下面有2圈密封圈，侧面有2圈密封圈。在它和右上圆环型法兰（3）相交的侧面线上有一条密封圈，在它和右上圆环型法兰（3）相交

3、的螺丝孔上有一圈密封圈。本发明专利解决技术问题所采用的技术方案是：右上圆环型法兰（3）和左上圆环型法兰（4）相互套接在一起，它们相互套在一起的部分为18度圆弧。观察窗玻璃安装在圆环型法兰（2）和真空设备腔体（1）的观察窗法兰之间的凹槽里，右圆环型法兰（3）和左圆环型法兰（4）安装在圆环型法兰（2）上面安装时，先用杜邦纸撒上少量丙酮试剂把各个法兰擦拭干净，在三元乙烯真空密封圈上面涂上高真空硅脂，以保持密封圈的密封性，最后进行上螺丝安装。由于圆环型法兰（2）和真空设备腔体（1）的观察窗法兰上面的2圈密封圈，使得圆环型法兰（2）,真空设备腔体的观察窗法兰（1）和观察窗玻璃之间不会漏气。由于右上圆环型

4、法兰（3）和左上圆环型法兰（4）上面的2圈密封圈，使得右上圆环型法兰（3）和左上圆环型法兰（4）和观察窗玻璃之间不会漏气。本发明专利的有益效果是，采用本发明所述的真空设备观察窗，是一种具有两层密封法兰的观察窗，它具有非常良好的密封效果。附图说明：下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。图1是真空设备观察窗结构图。图2是真空设备腔体结构图。图3是圆环型法兰结构图。图4是右圆环型法兰结构图。图5是左圆环型法兰结构图。在图1中，1.真空设备腔体的观察窗法兰，2.圆环型法兰，3,右上圆环型法兰，4.左上圆环型法兰。在图1中，右上圆环型法兰（3）和左上圆环型法兰（4）相互套接在一起，它们相互套在一起的部分为18度圆弧。观察窗玻璃安装在圆环型法兰（2）和真空设备腔体（1）的观察窗法兰之间的凹槽里，右圆环型法兰（3）和左圆环型法兰（4）安装在圆环型法兰（2）上面。具体实施方式：右上圆环型法兰（3）和左上圆环型法兰（4）相互套接在一起，它们相互套在一起的部分为18度圆弧。观察窗玻璃安装在圆环型法兰（2）和真空设备腔体（1）的观察窗法兰之间的凹槽里，右圆环型法兰（3）和左圆环型法兰（4）安装在圆环型法兰（2）上面