拓荆科技股份有限公司投资者关系活动记录表.docx
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1、拓荆科技股份有限公司投资者关系活动记录表股票名称:拓荆科技股票代码:688072编号:2022-002投资者关系活动类别特定对象调斫分析师会议 媒体采访业绩说明会 新闻发布会路演活动现场参观 其他(请文字说明其他活动内容)参与单住名称中银证券、天弘基金、民生证券、嘉实基金、农银汇理基金、海富通基金、华商基金、财通基金、中银基金、广发证券、富国基金、银华基金、长江证券、建信基金、广发资管、中信证券、西部证券、平安资管、汇添富基金、东吴证券、贝莱德资管、山西证券、华安基金、华宝基金、华融基金、泓德基金、泰信基金、淳厚基金、融通基金、汇安基金、上银基金、上海聚鸣投资、深圳和泮资产、方正证券、国联安基
2、金、浙商证券、银河基金、长江养老、中信建投证券、长城基金、西南证券、鹏华基金、东北证券、工银瑞信、平安基金、鹏扬基金、长信基金、交银基金、中金基金、远信资本、易方达基金时间2022年5月21日至2022年6月30日地点网络会议、拓荆科技公司接待人员姓名董事会秘书:赵曦产品技术总监、核心技术人员:宁建平产品总监:于棚证券事务代表:刘锡婷投资者关系活动主要内容介绍公司简介:拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术服务。公司聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机共同构成芯片制造三大主设备。公司主要产品包括等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备、原子层沉积(A1.D)设备和次常
3、压化学气相沉积(SACVD)设备三个产品系列,已广泛应用于国内晶圆厂14nm及以上制程集成电路制造产线,并已展开IOnm及以下制程产品脸证测试。问答环节主要内容:Ql:公司目前在手订单情况及2022年一季度签署订单情况?答:从公司已披露上市公告书等文件看,合同负债及存货中的发货商品科目期末余额可以一定程度反映公司在手订单的大概情况,目前公司在手订单饱满。Q2:公司订单交付时间及确认收入周期大概是多久?答:根据产品不同、客户需求不同,订单交付时间不同。公司设备产品需要通过客户验收后才可以确认收入。因为薄膜沉积设备所沉积的薄膜是芯片结构的功能材料层,在芯片完成制造、封测等工序后一般会留存在芯片中,
4、薄膜的技术参数直接影响芯片性能,所以,薄膜沉积设备在晶圆厂产线上所需要的验证时间一般较长。从公司已披露招股说明书等文件看,公司订单一般分为两种情况:DemO机台和销售机台。Demo机台一般为客户采购的新工艺或新机型的首次应用和验证(包括公司成熟工艺在新客户处的首次应用);销售机台一般是相同工艺已通过客户验证后的二次采购。根据IPo报告期历史经验值统计,DemO机台验收周期约为15-24个月,销售机台验收周期约为3-6个月。Q3:公司PECVD、A1.DSACVD这三个系列产品的工艺覆盖度及进展情况?答:公司产品在逻辑产线和存储产线都有广泛应用。目前PECVD设备产品在28nm及以上制程逻辑产线
5、基本可以实现各类薄膜工艺的覆盖,14nm先进制程节点主要在验证中。在A1.D产品方面,PEA1.D设备可以覆盖逻辑芯片55-14nmSADP.STI工艺及存储领域,该产品已实现产业化应用;ThermalA1.D主要应用于28nm以下制程逻辑芯片,目前在斫发中。SACVD设备可以覆盖12英寸4028nm以及8英寸90nm以上的逻辑芯片制造工艺需求。Q4:不同制程节点所需的薄膜工序及薄膜种类增加的幅度是什么样?答:随着集成电路制造不断向更先进工艺发展,芯片内部立体结构日趋复杂,所需要的薄膜层数越来越多。在90nmCMOS工艺,大约需要40道薄膜沉积工序,而在3nmFinFET工艺产线,大约需要超过
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