项目名称悬臂SOI光波导光栅分离式无热源亚纳米位移测量技术候选单位及其排序.docx
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1、1 .项目名称:悬臂SOl光波导光栅分离式无热源亚纳米位移测量技术2 .候选单位及其排序北京交通大学、复旦大学、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、上海拍频光电科技有限公司3 .候选人及其排序范国芳,张志平,李适,蔡潇雨,魏佳斯,吴俊杰,高为宫,王宁4 .项目简介装备制造业是国民经济的支柱产业,超精密加工技术作为装备制造业中的关键技术,备受世界各国重视。超精密测量技术在整个超精密加工技术体系中起着中流砥柱式的支撑作用O微位移测量技术是现代超精密测量技术中极为重要的基础测量技术,测量精度对加工设备和测量仪器的精度和分辨力具有至关重要的作用。微位移测量技术代表了国家先进制造业水平,因此,
2、亟需建立和实现自主可控的高精度微位移测量技术体系。实现超高精度微位移测量,需要突破两大核心技术,一是核心位移传感技术的突破,提高测量分辨力;二是系统结构热源隔离技术的突破。本项目针对高精度位移测量技术复杂程度高、难度大等难题,攻克了核心位移传感器件和高精度位移测量卡脖子技术,取得了悬臂SOI光波导光栅位移高分辨力传感,毫米范围内亚纳米分辨力信号处理,高精度无热源位移测量等创新成果,实现了位移测量量程为0.55mm,分辨力为0.Inm,线性度为0.04%,定标精度为0.4nm等技术指标,性能达到或超过美国ZYGO公司对标型号,主要技术指标达到国际先进水平。主要创新点如下:(1)创新点1:提出了无
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- 关 键 词:
- 项目 名称 悬臂 SOI 波导 光栅 分离 热源 纳米 位移 测量 技术 候选 单位 及其 排序