6009弹性薄板气浮垫的研抛工艺及研抛机结构设计.docx

6009弹性薄板气浮垫的研抛工艺及研抛机结构设计摘要随着精密、超精密技术的发展Fi益进步，机器及检测仪器等的精度要求越来越高,对气浮垫的制造精度也提出更高的要求。目前，由于气浮垫精密加工技术的探讨还不够深化，因此,探讨气浮垫的精密制造技术是气浮垫领域函须解决的课题，针时研磨抛光过程，本文深化探讨了磨料种类、粒度、抛光液溶剂、研抛压力、研抛加工时间等因素对加工表面粗糙度的影响。依据气浮垫研磨设备对研磨工艺的要求，本文设计/种特地的研磨机，并对研磨机的各个部分进行分析和说明，并对部分零件进行验证和校核。关键词：气浮垫；研磨：抛光；机械结构AbstractWiththedevelopmentofPrecisionandultra-Precisetechnology,theaccuracyofthemachineryandthedetectinginstrumentbecomehigher,theProductionaccuracyofcushionneededalsomorehigher.Atpresent,theresearchaboutthecushionPrecisionfinishingtechnologyisnotenough.Sohowtoenhancetheaccuracyitisoneofneedingtoresolveproblemoftheresearchareaofthefloatationcushion.Onthesurfaceroughnesseffectsofabrasivetype,grainsize,polishing1iquidsolvents,polishingpressure,polishingmachiningtimeandsoon,areresearchedin-depthfortheprocessofmechanicalpolishing.Accordingtogasfloatingpadgrindingequipmentrequirementforgrindingprocess,thispaperdesignedakindofspecialgrindingmachine,andanalyzethevariouspartsofthegrindingmachineandinstructions,andtoverifyandcheckparts.Keywords：Gasfloatingcushion;Grinding;Polishing;Themechanicalstructure气浮垫的研抛工艺及研抛机结构设计前言11.1探讨背景及意义近年来，功能陶瓷、石英晶片、平面或多面体晶体和光学器件等硬脆材料的精密加工提出了很高要求，不仅要求这些材料有微小的'F面度、微小的表面粗糙度、超平滑的表面还要求材料两端面严格平行、无品向误差、表面无变质层等，有的甚至要求达到纳米级或更高的加工精度和无损伤的表面加工质量，由于研磨抛光技术可以获得很高的精度和超光滑表面，上述的材料均需采纳精密研磨抛光技术3-80利用研抛工具的亚口径机械式研抛是目前加工创成困难光学曲面主要方法，但无论是在创成原理还是在加工装置上，都存在着难以逾越的固有缺陷。目前，很多探讨主要是针对回转对称球面光学.