FPC沉铜工艺规程.docx

龙漆柔辘史极限公司1.oNGXINDongGuan1.ong.FPC.XinCaJjtc1.弧铜工作指示内部受控文件严禁私自以任何形式全部或部分复制文件编号：1.X-MEI-TD-OO版次：A.0婀:姓名部门职位签名日期拟制陶兴平工艺部主管审核陶兴平工艺部主管侯向辉制造部主管陶兴平品质部主管批准李松海总经办懂事修嫄历版次修改缘由文件名作成日期修改人A.0新规作成1.X-MEI-TD-OOi陶兴平文件编号：1.X-MEl-TD-Ool2/14版次：A.0页码:编号1.X-MEI-TD-OOi作业指导书版次A.0页3/14生效日2011-04-01名称沈惆工作指示1.目的：1.1 本规程确立FPC沉铜工艺，满意其生产品质要求；1.2 本规程为生产、品质、工艺等有关人员供应操作和监控的依据。2 .适用范围：适用于本公司沉铜的作业限制。3 .运用的材料、设备、工具：沉铜系列药水、沉铜手动线、挂篮等。4 .M三:在不外加电流的状况下，通过药液的自催化（把和铜离子作为催化剂）辄化还原反应，使铜尚子析镀在经过活化处理的孔壁和铜箱表面上的过程。5 .作业方法：5.1 作业打算：（详见后面“7.1生产前打算”）5.2 各药水（缸）的作用：PI调整：微蚀孔壁表面以增加后面的化学铜附着；通过增加催化剂吸附促进铜覆盖率的提高用于活化与沉铜前清洁板面污染。除油/按孔：除去板面污迹，同时调整孔壁电荷分布，有利于Pd的吸咐；蚀：粗化铜面与除去铜面氧化物,使沉铜附着良好；逆水洗：洗净产品药液，避开污染下一个药水缸；浸：用于活化前，使活化时铜面药液吸附匀称与削减杂质带入活化缸；化：使胶体Pd匀称地附在孔壁，引发化学沉铜初始反应；速：除去Pd外层包围的物庾，露出有催化活性的Pd核，引发后续反应；沉铜：在催化剂作用下，铜络合物与还原剂产生班化还原反应，沉积出单质铜的过程;酸浸：去除铜面上氧化物的过程，使电镀铜与沉积铜结合良好。作业指导书编号1.X-MEI-TD-OOi版次A.0页4/14生效日2011-04-01名称圾辆工作指示5.3 作业流程:工艺（作业）流程:PI调整T双水洗一除油/整孔T双水洗T微蚀T双水洗T预浸T活化T双水洗f加速T双水洗f沉铜f双水洗f浸酸工艺流程操作示意图:除油±M±«水洗微位水洗9（浸活化水洗作业指导书编号1.X-MEI-TD-OOi版次A.0页5/14生效日2011-04-01名沆铜工作指示称5.4作业分数:槽名药水成份参数设定操作时问温度滴液时间搅拌方式分析频率限制范圃最佳值SSPI调整piFKOH30-50%30-4Og/1.40%35g1.240-42O40±5C15±3r整孔整孔剂0.1N240-42O55±5C15±3雅r微蚀SPS40-80g/160gl60-12030±5C15±3打气4¾H2SO43-5%4%Cu2+<25g/1预浸比重1.1630-190室温25±5箴活化比电1.16360-54O32-38C25±5三天比色度75-100%>80%加速加速剂9-11%10%60-9028±2C15±3蜜臂CU1.4-1.8g/11.6l720-96O28-32oC15±3涵NaOH8-12l10lHCHO4-7g/16g/1>市水缸体（升）160*260±30室温10-20无编号1.X-MEI-TD-OOi作业指导书版次A.0页6/14生效日2011-04-01名称沆铜工作指示5.5各缸开缸步舞和操作条件：缸名开缸步骤操作条件PI调整1、加入1/2缸体积的纯水；2、加入YX-HYQ-2006A401.,KOH：4KG搅拌匀称；3、补加纯水至标准液位，搅拌匀称；4、打开加热器，加热并恒温在3545t.1、温度：40r(35-45iC)2、工艺配备：摇摆、加热、过渡3、后处理：二级溢流水整孔1、加入1/2缸体积的纯水；2、加入YXHYQ2005IO1.搅拌匀称；3、补加纯水至标准液位，搅拌匀称；4、打开加热器，加热井恒温在50-60C。1、温度：55C(5060P)2、工艺配备：摇摆、加热、过渡3、后处理：二级逆流水洗，其中第一级不打开气,其次级开打气微蚀1、加入2/3缸体积的自来水；2、缓慢加入41.H2SO/工业级)边加边搅拌；3、待溶液冷却至40C以下时，加入8kgNaPS搅拌匀称；4、补加纯水至标准液位。1、温度：常温2、工艺配备：摇摆、打气3、后处理：二级打气水洗预浸1、加入1/2缸体积的纯水；2、加入HYQ-1715Kg,fttt31.使之完全溶解搅拌匀称；3、加纯水到标准液位。幺隼备：B活化1、加入87%缸体积的纯水；2、11HC1.31.3、加入调浸赴：15Kg使之完全溶液，搅拌匀称；1、温度：35t(32-38P)2、工艺配备：摇摆、过滤3、后处理：二级溢流水洗(不打气)4、加入活化剂31.,搅拌匀称；5、开启加热器并恒温在3238*C°加速1、加入1/2缸体积的纯水；2、边搅拌边加入HYQ“009AIo1.搅拌匀称；3、加入纯水至标准液位，室温下即可生产。1、温度：28P(2630l)2、工艺配备：摇摆、过滤3、后处理：二级逆流水洗.(不打气)沉铜1、加入1/2缸体积的纯水，开启微空气搅拌；2、加入HYQ-900MIo1.搅拌匀称；3、加入HYQ-900AlO1.搅拌匀称；4、加入HYQ-900BlO1.搅拌匀称；5、加入纯水至标准液位；6、开启加热器，加热至3(FC,方可运用。1、温度：30(28-32r)2、工艺配备：摇摆、打气、加热、过滤3、后处理：打气、水洗编号1.X-MEI-TD-OOi作业指导书版次A.0页7/14生效日2011-04-01名称双事!工作指示5.6开缸与药水津加要求:体积限制要求开缸用量添加要求换缸要求PII1001.YX-HYQ-2006A:30-50%KOH:30g40g1.YX-HYQ-2006A:401.KOH:4kg霰脑分析每生产3000W全缸更换整a1001.OH:0.08-0.12NYX-HYQ-2005:8%-12%YX-HYQ-2005:IO1.监服楙,分析每生产2000m'全虹更换I1001.SPS:40-80g1.SPS：8kg麟就分析瓶H2SO4：3%-5%H2SO4:41.1001.S.G（比重）HYQ-1007:230-250g1.PD-130:20KGHC1.:31.wr每生产2000m,或药液变为蓝色或绿色，全缸更换I1001.S.G（比重）HYQ-1007:230-270g/l预浸盐：15KG依据每班分透速补加；每生产100产米板加300-500，落升HYQ-1008;Cu2"2000PPM时需换缸杷浓度HYQ-1008:3-5%盐酸：21.活化剂：31.加速1001.HYQ-1009：9-11%HYQ-1009:101.侬据年班分儒果环加；每生产2000H时需簧更普1001.Cu241.4-1.8g/1.NaOH:8-12g1.HYQ-900A=101.HYQ-900B:101.三tr每生产1m，添加HYQ-900AB各0.25-0.321.HYQ-900M为湎制，生产中不补加。源赢前HCHO:4-7g1.HYQ-900M:101.编号1.X-MEl-TD-Ool作业指导书版次AQ页8/14线日2011-04-01名称双事!工作指示6 .罐护和保养：6.1 槽液维护:缸名保养频率保养项目保养方法险收保养标准PI调整一次/每班周边环境清扫、清洁、整理地面不积水，杂物等清扫干净，生产板与其它物品摆放整齐一次/每班后水洗缸用洗缸扫把清洗干净更换用清水清洗棉芯缸沿、缸壁无污迹，棉芯无杂物等一次/每周过滤棉芯一次/每周过滤棉芯更换瓶的加芯（再换W用清干净、没有杂物残留每生产3000济新开缸换缸1、排空，用洗缸扫把清洗2、按开缸步骤进行开缸缸沿、缸壁、过滤泵无污迹除油一次/每班周边环境清扫、清洁、整理地面不积水，杂物等清扫干冷，生产板与其它物M投放整齐一次/每班后水洗缸后水洗缸用扫把清洗干净一次/每周过滤棉芯过滤棉芯用清水冲洗干净一次/每周过滤棉芯1、更换新的棉芯2、用清水浸泡24小时每生产2000m,换缸1、排空用扫把消洗三按开缸步骤进行开打微蚀一次/每班后水洗缸用清水冲洗干净缸沿、缸壁无污迹(CU2,25g1.)换缸1、用备用桶保留1/5母液2、排空缸液，用水冲洗干净预浸一次/每班后水洗缸用清水冲洗干净2000m,或药液变为蓝色或绿色换缸排空缸液，用水冲洗干净一次/每周过滤棉芯更换过滤棉芯编号1.X-MEI-TD-OOi作业指导书版次A.0页9/14生效日2011-04-01名称抵铜工作指示缸名保养频率保养项目保养方法验收保养标准活化一次/每班后水洗缸用洗缸扫把清洗干净干净、没有杂物残留一次/每周过滤棉芯更换在预浸中浸泡30min后更换一次/每月倒缸消除缸中杂质,并用洗缸扫把清洗干净,倒缸前用预浸液清洗备用槽,倒缸过程中活化液勿遇水；药水抽回时要先用预浸液清洗。Cu2"2000PPM换缸排空缸液，用洗缸扫把冲洗干净（每月联系供应商外发分析次）加速