一款扫描电镜用的减振台-主动减振系统.docx

一款扫描电镜用的减振台-主动减振系统扫描电镜主动减振系统一、用途解决振动尤其是低频振动对电镜图像造成干扰的问题.二、工作环境条件2.1 环境温度/湿度：540C20%80%R.H2.2 供电电源：交流电源22OV±IO%3OHz2.3 地线要求：需安全接地线三、技术特点： 传递率(XW)»(心敦，IHz以下开始减班，系统稳定状态在2Hz优于20d8. 6自由度系统减振。 主动减振特别针对低频振动超标有效， 含前置主动反馈环节，低频效果显著振强. 专业研发工程师现场调试，针对当地地面振动水平多承整数全面调节，不是算法自动适应。 传送率Cmt率).犊心救，IHz以下开始减振，系统检定状态在2H优于20dB.四、技术指标：3.1 减振平台安装尺寸(长X宽Xi)：1130X902X200(mm)(可以根据不同电镜定制)，减振平台遮量：190kg：3.2 主动减振带宽：0.5HZ至I(X)Hz:3.3 产生磁场强度：0.3mGpkpk:3.4 岸息时间：300ms；3.5 平台负载选址：30Okg至1500kg：3.6 减振效果：从0.5Hz开始有减振效果：到2Hz,水平和垂直两个方向均达到-2OdB的衰减（90%衰减）：3.7 控制自由度：6；派3£控制方式：含前馈的双重主动控制：3.9 执行单元：直线电机：3.10 推力常数：80NAmp;工”压缩空气：不需要：3.12 安装/调试：由专业研发工程师现场针对性安装、调试：3.13 适用机型：用于SEM、FIB.DUa1.Beam机台等。五、效果实例减振关闭减振开启五、安装案例