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PECVD培训资料培训资料一：一：我们公司现有我们公司现有PECVD两种机型两种机型 岛津岛津PECVD Roth&Rau PECVD PECVD =Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 即“等离子增强型化学气相沉积”，是一种化学气相沉积，其它的有HWCVD，LPCVD，MOCVD等。 PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉 积出所期望的薄膜。 漏气真空问题 磁控管微波电源问题 加热板加热管问题 控制电路问题 安全事项 PECVD 常见故障漏气真空问题 岛津岛津PECVD 岛津工艺腔岛津工艺腔岛津进料出料腔岛津进料出料腔 漏气真空问题 岛津岛津PECVD 漏气真空问题 真空泵问题 岛津岛津PECVD爱发科油泵岛津岛津PECVD爱发科增压泵真空泵问题 Roth&Rau PECVD爱德华GV600干泵岛津岛津PECVD普旭DS160干泵真空泵问题 Roth&Rau PECVD爱德华GV600干泵冷却水流量计Roth&Rau PECVD爱德华GV600干泵氮气压力计漏气真空问题 岛津岛津PECVD角阀角阀Roth&Rau PECVD磁流磁流体体漏气真空问题 Roth&Rau PECVD角阀角阀微波法兰微波法兰漏气真空问题 岛津岛津PECVD H/C腔侧门及腔侧门及密封圈密封圈岛津岛津PECVD磁流体磁流体漏气真空问题 Roth&Rau PECVD 密密封圈封圈磁控管微波电源Roth&Rau PECVD磁控头Roth&Rau PECVD磁控管磁控管微波电源Roth&Rau PECVD微波微波电源电源射频电源射频电源 岛津使用的射频电源磁控管微波电源Roth&Rau PECVD U型型槽槽加热板加热管问题Roth&Rau PECVD接触器接触器接触器接触器加热板加热管问题Roth&Rau PECVD加热加热板损坏后报警板损坏后报警加热板加热管问题Roth&Rau PECVD加热温控加热温控加热板加热管问题Roth&Rau PECVD加热板法兰加热板法兰盘盘不要敲击不要敲击加热板加热管问题Roth&Rau PECVD加热板加热板Roth&Rau PECVD进料腔加热管进料腔加热管陶瓷护套耐高温陶瓷护套耐高温及绝缘及绝缘加热板加热管问题Roth&Rau PECVD进料腔加热进料腔加热管管控制岛津岛津PECVD电极板放电现象电极板放电现象各盖板电机升降信各盖板电机升降信号控制继电器号控制继电器各侧门打开关闭信号各侧门打开关闭信号控制继电器控制继电器电极板放电岛津岛津PECVD电极板放电现象电极板放电现象电极板放电后的电极板电极板放电后的电极板正常电极板正常电极板镀膜的片子正常情况下的电极板正常情况下的电极板正常镀膜的片子石墨框正常情况下的电极板正常情况下的电极板Roth&Rau PECVD5*6的框的框特气柜特气柜 岛津特气柜里的流量计、气动阀及手动阀特气柜特气柜 Roth&Rau PECVD特气柜里的特气单向阀安全事项使用和维护本设备时必须严格遵守操作规程和安全规则，因为：v本设备的工艺气体为SiH4和NH3，二者均有毒，且SiH4易燃易爆。v本设备运行时会产生微波辐射，每次维护后和停机一段时间再开机前都要检测微波是否泄漏。