通过硅靶摄像管采集图像的电子显微镜.docx

通过硅靶摄像管采集图像的电子显微镜电子显微镜是一种通过阴极管丝发射电子，经过汇聚透镜把电子束聚集到检测物标本上，检测物样本放在火棉胶薄片上面，电子束被检测物样本薄片吸收，产生电势不同的图像，就像光线投射在物体上面产生阴影一样，这时电子束就形成了检测物样本的图像。再经过磁力透镜将电子束放大后，电子束照射在涂满PN节的摄像管上面，这个摄像管就会形成检测物的图像。并把这个图像传递给摄像机?口电视机，最终显示出来。电子显微镜的原理如下图也察物If上的赞光雅L觑看最AR初步像八 "1 4MM/n 5S3性放大僚1«2G磁力透射懈除 强的伸川小曲IiL投影透统4终 先 的话雇于,就可以,就只有初步幕上的小孔的投影竟上也装了附有最篌放大像；或冲F昂幕的小孔的支影透造成的像C乎安装在卜玻璃窗（明下手把了，就 路乘,使他子射瑁5KIS的一 Bl,凿；4S国-U露 耳目，力号 W 1工？2三三？3堂,3修制摄像管的原理图如下电子照射到摄像管玻璃上，薄玻璃后面是一层薄硅单晶，可以使四氯化硅和氢气加热到1400摄氏度,反应得到硅单晶,也可以将硅烷加热到IOoO摄氏度得到硅单晶。再给这层薄硅单晶掺杂形成P型半导体。可以在反应中加入用氢气稀释了1000倍的三氯化磷形成N型半导体，可以在反应中加入用氢气稀释了1000倍的六氢化二硼形成P型半导体。再把这层P型半导体放到氧气中形成一层硅单晶，再在硅单晶表面喷涂一层柯达光致抗蚀剂，在用棋盘状网格塑料掩膜遮挡这层柯达光致抗蚀剂，可以用光学镜头将30分米长30分米宽的棋盘状网格塑料掩膜的影子缩小为30厘米长30厘米宽。然后在暗室中用高压水银灯曝光数分钟。把硅片放入显影液或三氯代乙烯中，再用乙醇或二甲苯洗涤，这样未感光的部分就被出去，达到显影的目的。为使柯达光致抗蚀剂膜粘附硬化，需在177200摄氏度下烘烤1530分钟。对于二氧化硅可以采用氟化氨加氟化氢加水作为腐蚀液。对于硅可以采用氟化氢加硝酸加双氧水作为腐蚀液，没有被抗蚀剂覆盖的硅就被除去。最后除去感光膜，可以将硅片在硫酸中煮沸，或在300摄氏度的氧气中加热，再用机械方法除去，可以用砂纸打磨。然后将裸露出来的棋盘方块状硅单晶掺杂形成N半导体。这样摄像管的硅靶材就做好了。当摄像管的电子束扫描棋盘方块状N型半导体时，两外一面从电子显微镜发射出来的电子图像照射到薄片状P型半导体时，由于N型半导体上的小方块彼此分开，相互绝缘，电子只有通过P型半导体传递，这就会在P型半导体上面产生一个电子显微镜的图像信号，然后这个图像信号在送给摄像机和电视机，人们就可以得到电子显微镜的图像。柯达光致抗蚀剂的主要成分有桂皮酸，聚乙烯醇反应形成的酯，调节粘度用的三氯代乙烯，醋酸甲基甘醇以及作为敏化剂的环烷酮。如果用高能光照射如紫外线，则酯及聚合硬化，不受一般腐蚀液的侵蚀。摄像管电路下载地址https:S链接：https:pan.bs/IlHISFQjW8STx6f7gH6BQnQ;提取码:d76r