碳中和联合研究院扫描电镜和透射电镜采购项目质量技术参数要求.docx

碳中和联合研究院扫描电镜和透射电镜采购项目质量技术参数要求序号仪器设备名称主要技术标准与参数数量单位备注1(FE-SEM)一、技术指标要求1 .电子光学系统 （1）分辨率15KV：0.6nm,1KV：0.7nm； （2）电子枪：超高分辨、高稳定性，保证电子枪寿命5年，冷场场发射电子枪1根或者肖特基式场发射电子枪6根；（3）电子枪亮度1x1（）8a/Cm与；能量色散范围低于O2O.3eV;（4）场发射电子源大小5nm;（5）加速电压：O.O130kV,IOv步进连续可调，IOV可成超低压像，从低压到高压无模式切换；（6）放大倍率：底片倍率：最小20倍，最大2,000,OOO倍，底片和显示器倍率可同时显示； （7）物镜光阑：内置加热式自清洁装置，不少于4孔可调式，保证5年内无需更换；（8）最大电子束流20nA;（9）聚光镜：两级。2 .样品室和样品台（1）样品台驱动：5轴马达驱动全自动优中心样品台X：O-IlOmm,Y：O-HOmm,Z：1.5-40mm,R：360°,T：5°70°；（2）样品室可拓展接口数量：14个以上，保证后期扩展附件应用；（3）标配样品交换预抽室：预抽室端面透明，可观察到样品交换过程；（4）配置样品交换仓预抽室尺寸6英寸，可装入最大样品直径N150mm；（5）样品防碰撞警报装置：非接触式碰撞保护功能，无需红外相机即可避免样品台碰撞；（6）具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落。3 .探测器系统（1）低位电子探测器：可得到二次电子形貌像；（2）高位电子探测器：位于镜筒内物镜上方，可以接收纯二次电子信号和纯的高角度背散射和低角度背散射信号，具有能量选择功能，可以选择接收二次电子和背散射信号，并以任意比例混合（100种模式），在低压下（小于2kv）可以成背散射电子像；（3）样品室彩色CCD相机：实时监测样品室内情况；（4）导航相机：一体化导航相机，最大导航视野直径75mm,快速找到图像。1台4 .真空系统（1）真空泵：1个机械泵，1个260L/S涡轮分子泵（磁悬浮型），两个离子泵；（2）配有化学吸附泵；（3）真空度：电子枪部分优于2x10-7；（4）保护：断电、漏电、真空保护；（5）样品更换抽真空时间：L5分钟；（6）配置整机UPS,IOKVA功率，持续时间不低于2小时。5 .数字图像记录系统：（1）图像处理软件：可以进行图像的处理、测量和编排实验报告，捕捉的图片可储存在临时图片栏内，可选择单张存储或者批量存储，可以自动连续命名；（2）自动化功能：智能化软件系统，可以自动电子光路对中调整：自动电子束对中，自动光阑对中，自动像散对中，自动对焦调整，自动亮度对比度调整，自动像散调整；（3）图像显示：支持双显示器双大画面显示，支持6通道图像实时模式；（4）数据记录：照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等；（5）工作站：WindoWS系统，图像显示27寸LCD显示器3台，可同时显示6幅图像；（6）信号/图像处理功能：像素积分改善S/N,框架积分，彩色图像显示，2色合成图像显示（保存图像），伪彩色图像显示（保存图像），针对保存图片的图像处理（灰阶变换，伽马调整，各种空间过滤处理），实时图像伽马处理。6 .工作条件（1）设备需适应现有实验室条件：电源：220V÷10%,频率5060Hz,5kVA,连续供电；（2）温度：1525C,湿度：小于60%（RH）；（3）需可适应在独立地线不小于40。环境下正常工作。7 .配置全自动离子激射仪（1）硼硅酸盐玻璃工作腔室，IoOmm（内径）x125mm（高）；（2）最大样品尺寸:直径N60mm;<3）溅射电流:0-40mA,标配AU靶材。（4）真空系统:机械泵,转速为135Lmin.8.电制冷实时能谱仪（1）探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积40mn?,高分子超薄窗设计；（2）能量分辨率：MnKa保证优于127eV（计数率130,OOOcps）；FKa保证优于64eV（计数率130,OOOcps）;CKa保证优于56cV（计数率130,OOOcps）;保证符合ISO15632:2012标准；（3）探测器可软件控制自动伸缩；（4）元素分析范围：Be4Cf98;（5）具备元素SPeCtnImLiVe实时刷新显示功能：可实时观测样品区域变化或者形态转变时，谱图spectrum的动态变化过程；（6）具备元素面分布LiVe实时刷新显示功能：在样品台静止状态、移动及改变放大倍数时，均可实时显示电子图像、不同元素分布以及它们的叠加图。样品停止移动时，自动开启面分布图静态采集模式，得到更高清晰度的面分布图。可利用AZteC软件控制样品台移动及改变放大倍数；（7）具备零峰修正功能，开机后无需重新修正峰位。具有实时谱图比对功能。线扫描分析每条线可包含高达8192点，可从线扫描结果重建单点谱图。可在水平或垂直方向进行多线依次采集；（8）电子图像最高分辨率达8192*8192像素；元素面分布图分辨率最高达4096*4096像素；可在电子图像上叠加元素分布图；可从面分布图上进行点、线谱图重建；（9）定性分析：AUtoID可自动标识谱峰，可进行谱重构：（8）采用XPP定量修正技术，除完备的KLMN全谱线系外，还有20kV及5kV高低电压定量数据库，自动标识谱峰，可进行谱重构。二、配置要求（包括但不限于以下）：（1）超高分辨场发射扫描电子显微镜主机1台（含相应探测器及耗材）；（2）配套控制系统；（3）6英寸样品预抽室一套；（4）全自动离子溅射仪一台；（5）UPS等其它相应配套附件；（6）实时能谱仪一套；（7）标准随机文件和工具包。2射子微竟TE>透电显率<ML分辨率（1）分辨率：0.14nm;（2）放大倍数：50-800,000倍；2 .电子枪（1）电子枪类型：高亮电子枪，LaB6型灯丝，保障灯丝耗材使用量N2年。（2）具有电流自动控制，灯丝计时，气压式自动升枪等功能；（3）加速电压：20120kV;3 .物镜、透镜系统（1）双模式物镜设计，集高分辨模式和高反差模式于一台机器，两种模式一键切换，无需等待、无需更换、拆装硬件；（2）焦距可调节，聚焦和放大倍率自动关联；（3）透镜系统：五级透镜系统（1级物镜、2级中间镜、2级投影镜），图像旋转修正（±5。），双隙物镜，焦距可变，直接显示散焦度，内置对各加速电压的像散修正，修正范围±3m;（4）电子衍射：四孔选区光阑（20,50,100,200m）,气动电子1台束挡针；（5）衍射长度：高反差方式0.25.0m,高分辨方式0.22.0m；（6）照明系统：3级透镜设计，±2.0。束偏转，内置消像散器，可自动调节消像散。4.样品台（1）优中心侧插式测角台：样品台控制自动预放大倍率关联；（2）具有轨迹追踪功能，位置记忆功能，回溯功能；（3）X/Y：±lmm,Z±0.3mm（CPU控制马达驱动），样品台倾斜角：±30度，可显示样品位置、倾角等；（4）两端支撑式高稳定样品杆，无漂移、抖动。6 .数字化成像系统（1）超高像素CMoS主相机和荧光屏相机，电镜和相机一体化控制，相机由电镜主控软件控制拍摄，两个相机都具有自动聚焦、测量、自动导航，自动拼图等数字化功能；（2）主相机装载方式：直插式或侧插式装载方式；（3）高灵敏、高速一体化主相机：像素1600万，具有自动保护功能，防止电子束过强对相机的损伤；（4）使用超高速高动态数字相机取代传统的荧光屏观察窗，将TEM操作统一于显示器上，所有操作均在明亮实验室中，无需暗室操作；（5）荧光屏相机：一体化高速相机，采集速度：Nl60帧/秒。7 .真空系统（1）真空逻辑由测量值控制；真空交换仓预抽时间15s;（2）配置含机械泵、分子泵无油真空系统，不使用扩散泵，分子泵抽速300Ls,机械泵抽速135Lmin;（3）配有全量程规，可在操作界面上实时监测镜桶内真空的变化。8 .自动化功能（1）自动图像导航：WholeView功能，超低倍可观察范围1.6mm,可利用拍摄图片作为导航，同时保留坐标导航和图片回溯功能；（2）自动拼图功能：具有自动聚焦、自动定位可无人值守拍摄多张图片的功能，准确定位并自动拍摄数量多0000幅，具有电子束偏移拼图功能：通过电子束偏移拍摄多个位置的图像，拍摄的同时自动拼接图像。无像素损失的条件下可获得像素尺寸20kX13k09 .辅助功能（1）实时测量功能：测量图片或衍射图案，荧光屏相机和主相机都支持此功能；（2）漂移校正：对漂移图像进行校正；（3）导航功能：可用鼠标点击待测区域的方式操作样品台移动，荧光屏相机和主相机都支持此功能；（4）保护功能：防污染保护（镜筒自动烘烤功能）、仪器保护（断电、断水、真空漏气、镜筒过热）、漏电保护（自动切断高压）、泄露保护、辐射保护功能；（5）样品低损伤观察:低剂量电子束观察，软件界面上电子束剂量实时显示，具有预辐照功能；（6）需可适应在独立地线不小于40。环境下正常工作。10 .能谱仪系统（I）硅漂移SDD电子制冷探测器，有效面积N80m晶体位置优化设计，大大提高能谱仪计数率；（2）元素分析范围：从Be4-Cf98;（3）具有能谱面扫描功能；（4）能谱应用软件可以实现多线程设计，导航器界面，支持用户自定义模式及账户管理，支持分屏显示及远程控制，支持中、英文等多种操作界面；（5）定性分析：可自动标识谱峰，除惰性气体元素外，无禁止自动标定的元素；可进行谱重构，对重叠峰进行手动峰剥离；（6）其它功能：可将电镜图象传输到能谱仪的显示器上,并以该图为中心做微区分析，可显示电子作用区大小，可对点，矩形，任意不规则区域等进行分析；（7）具备全谱面分布/线扫描分析功能，一次采集，能存储每一扫描位置（x,y）的所有元素的信息，用户随后可以在离线状态下从图像上的任何位置重建谱图和面分布图。11 .包括但不限于以下（得满足主机连接需求）：（1）透射电镜主机（包含高反差和高分辨模式，可实现一键切换）；（2）电镜控制与显示系统一套；（3） 一体化、高灵敏像素CMoS主相机；（4） 一体化超高速CMOS荧光屏相机；（5）真空系统等其它相应配套附件；（6）能谱仪（含有能谱面扫描功能及相关套件）；（7）标准单倾样品杆；（8）冷却水系统；（9）空气压缩机；（10）UPS电源等。注：本项目评分标准中将根据标注“”符号的技术标准与参数配置、技术指标的偏离情况进行评审打分。